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芯片制造处于进行过程里，哪怕是纳米级别的偏差存在，都极有可能致使整批晶圆报废熊猫体育官方网站，如此这般对于精确度的极致追求，让量测设备成为芯片生产的“火眼金睛”，然而国产设备在这个关键领域正迅速崛起。

量测设备的核心作用

芯片制造流程中，量测设备肩负监测职责，监测每道工艺质量情形，监测内容含薄膜厚度情况、关键尺寸状况、缺陷检测情形，设备借此监测确保生产线各环节符合设计标准，若无精准量测行为，芯片良率无法保障。

全球处于领先地位的晶圆厂，通常会将总投资中大概占比15%的那部分资金，投入到检测以及量测设备方面，随着制程持续朝着微小尺寸缩减，在28纳米以下工艺中，对于量测精度所提出的要求，呈现出指数级的增长态势，而这恰恰正是国内晶圆厂加快引入国产量测设备并开展实施验证的关键根本缘由 。

市场规模持续扩大

VLSI Research 所给予的数据显示，2020 年之际，中国大陆半导体检测与量测设备市场规模达成突破，数值为 21 亿美元，此处在该时间段的五年复合增长率是 31.6%，并且该数字背后呈现的是国产芯片制造能力得以实现快速提升。

国内晶圆厂不断推进扩产进程，2023年国内前边量测设备市场预估将会达到30亿美元，当中12英寸晶圆厂新增产能对高端量测设备的需求万分火急，这给国内设备企业给予了广阔空间。

技术路线竞争格局

于现阶段当中，全球半导体量测设备主要被划分成为三大技术路线的存在，此三大技术路线分别是光学检测，电子束检测以及X光量测 。依据2020年市场份额数据所表明出的情况来看 ，光学检测技术占据着主导地位的情形是存在的 ，其占据的比例为75.2% 。之所以会出现这样的情况原因在于 ，其在速度以及精度方面达成了最佳平衡的状况是存在的 。

电子束检测的速度相对而言是较为迟缓的 ，然而它具备着超高的分辨率 ，在14纳米以下的先进制程当中是不可或缺的 ，国内企业于这两条技术路线之上同时开展布局 ，期望能够实现全面的突破 。

国产设备突破进展

上海睿励科学仪器，其所拥有的光学尺寸测量设备，已成功通过验证，该验证在国内处于领先地位的晶圆厂的28纳米工艺方面，并且设备进入到了量产生产线之中，这属于国产量测设备首次在先进制程这个领域达成规模化应用。

国内知名的晶圆厂迎来了东方晶源所生产的电子束缺陷检测设备，此后，针对28纳米制程的产品，关于90纳米以上关键尺寸的检测，完成了验收工作，此种设备的开机率超过了90%，其具备的水平接近于国际上同类的产品 。

产业链协同发展

境内，晶圆厂跟设备商二者间的合作，呈现出愈益紧密的态势，当中熊猫体育，中芯国际、长江存储等企业，组建了专门的技术团队，用以协助国产设备开展工艺验证，而这般深度的合作，极大缩短了设备优化周期。

多个半导体产业集群，在地方政府支持下正在形成，设备研发、制造、应用闭环。上海、北京、武汉三地的量测设备创新中心熊猫直播，若预计2024年投入使用，将会加速技术迭代。

未来发展路径展望

国内有从事量测设备的企业，正朝着先进制程方向，从成熟制程中一点点进行渗透。接下来重点要做的是攻克14纳米以及低于14纳米工艺的量测技术，要完成这一攻克，需要核心零部件以及算法软件同时取得突破。

伴随国家集成电路产业投资基金二期的投入，量测设备领域会获取更多资源支持，预计到2025年，国产前道量测设备在国内市场的占有率有望从当下不足10%提升至30%。

于芯片自主可控之大趋势情形下，你认为国产量测设备最先会在哪个技术环节实现全面突破呢？欢迎分情况分享你的看法，若觉本文有帮助，那就请点赞来支持 。

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